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質量流量控制器

質量流量控制器

產品型號: G100C

所屬分類:G100C質量流量控制器

更新時間:2024-07-01

瀏覽次數:7801

簡要描述:具有高精度、高分辨率、高重復性和高可靠性等特點。產品內置多種氣體和混合氣體。

詳細說明:

G100C質量流量控制器特點

高精度、高分辨率控制

DC 9-36V寬電壓供電

低功率,功率<2W

集成40種基礎氣體種類

可自定義10種混合氣體

控制參數自整定功能

數字化控制,RS-485 Modbus RTU通信模式

寬流量量程范圍

無需預熱

無安裝方向限制

具有高重復性和高可靠性

采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快

自帶溫度補償,補償范圍0-50

內部閉環控制,具有高穩定性

小封裝尺寸

 

量程及精度簡介

可用量程:

最大0-20slpm

最小0-10sccm

常備量程請參考選型表

量程比:100:1

滿量程精度:±0.5%

讀取精度:±1%

可重復性:±0.5%FS

響應時間:<100ms(調節PID控制參數可縮短響應時間)

 

數字式設計簡介

G100C系列質量流量控制器標配高精度傳感器和數字電路,數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴展至255臺設備同時使用。

 

應用領域

氣相和液相色譜儀

半導體工藝

環境監測設備

微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD

氣體發生器

配氣混氣系統


 





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